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晶圓檢測解決方案

在半導體行業的晶圓宏觀檢測設備中,我們為客戶提供優質的可配置視覺系統及核心視覺器件。在相機端,我們有Dalsa的高速ML相機,最高行頻能達到300K,最高分辨率達到16K,并有彩色型號;另外有Dalsa HL型號的128級TDI相機,最高行頻能達到400K,同時提供32K分辨率TDI、彩色TDI、多光譜TDI三款全球獨有的特色型號。相機的高分辨、高行頻及TDI屬性契合晶圓檢測的高精度、高速度和高亮度的需求。
在鏡頭方面,我們可以提供茉莉特、燦銳、視清等大靶面、高倍率的遠心鏡頭,滿足半導體檢測需求。在光源方面,我們有Revox高亮燈箱,搭配點、環、線等不同光波導,更有多光譜燈箱和高速頻閃燈箱及超高亮燈箱,在半導體晶圓檢測設備中廣泛應用。

方案優勢

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